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科威勒微型氣體流量傳感器：FGM210氣體質量流量計系列產品是采用*流量傳感器芯片，結合 32位高速數字處理電路、高精密算法以及注塑的旁通流道和本體設計，所開發的大量程、高可靠的傳感器微系統模組，具有低功耗（典型80mW)、大量程10-300SLM、快速響應（典型5ms）等優點。